上证报中国证券网讯(年悦记者张雪)记者2月3日自华海清科（688120）获悉，公司首席科学家路新春凭借在集成电路（885756）装备自主可控发展方面的贡献，获2025年何梁何利基金“科学与技术创新奖”。

公开资料显示，路新春致力于纳米摩擦学与超精表面制造理论与技术研究，聚焦集成电路制造（884227）关键装备——化学机械抛光(CMP)与减薄装备及工艺的自主攻关，主持了10余项国家级重大科研任务。

具体而言，路新春在理论层面上建立了化学机械抛光、超洁净清洗与精密减薄的基础理论体系；技术层面攻克了集成电路（885756）表面超精密制造的多区压力调控、超洁净清洗、减薄面形调控等一系列核心关键技术；在装备研制与产业化上则率先推出了国内首台拥有自主知识产权的12英寸CMP装备及磨削抛光一体化减薄装备，推动国产半导体（881121）高端装备（885427）实现大规模产业化应用。

何梁何利基金由香港爱国金融家何善衡、梁銶琚、何添、利国伟于1994年创立，旨在奖励中国杰出科学家，服务于国家现代化建设，31年来表彰奖励了1692位科学家、工程师及产业领军人才。