IT之家2月5日消息，西门子(Siemens)昨日(2月4日)发布公告，宣布收购法国初创公司Canopus AI，通过引入计算量测(Computational Metrology)和检测技术，强化其Calibre晶圆制造软件生态。

据西门子透露，该笔交易实际上已于2026年1月12日完成交割。尽管官方未披露具体金额，但业界估算交易额约在1.5亿至3亿欧元(IT之家注：现汇率约合12.31亿至24.62亿元人民币)之间。

Canopus AI是一家总部位于法国格勒诺布尔的创新企业，成立于2021年，专注于利用机器学习和人工智能（885728）技术优化半导体（881121）量测与检测流程。

Canopus AI面向量测与检测领域的机器学习及人工智能（885728）技术，通过量测边缘放置误差(EPE)，优化晶圆制造仿真模型

Canopus AI在行业内开创性地提出了“Metrospection”理念。该理念旨在搭建一个全面的软件框架，利用AI技术打通传统晶圆量测与检测之间的技术壁垒，通过其特有的Mapbox类查看器，用户可以交互式审查关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)图像及大批量制造数据。

面对器件尺寸微缩和产能扩大的双重挑战，大规模量测已成为保障先进制程良率的关键。西门子计划将Canopus AI的技术与其Calibre产品组合中的“计算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI网页版Mapbox类查看器，支持关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)图像、HVM(大批量制造)Oasis及计量检测数据的交互审查。

通过这种互补，西门子将提供一套具备差异化的端到端EDA解决方案。这不仅能提升晶圆图形成像的保真度，还能通过精准测量边缘放置误差(EPE)，帮助制造商实现亚纳米级的工艺控制。

西门子数字化工（850102）业软件总裁Tony Hemmelgarn强调，此次收购彰显了西门子用工业AI解决制造挑战的决心。整合后的技术将助力半导体（881121）企业缩短先进制程节点的量产周期（883436），并加速良率爬升。