沪硅产业（688126）涨幅扩大至5.00%，科创半导体设备ETF(589020)重仓股中该股票占比为6.98%，当前涨幅为1.73%，最新价创30日新高，成交额585.05万元，较昨日此时放量23.74%，近1月份额减少4400万份。