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韩国企业KC Tech突破半导体材料自主化
2026-05-07 16:44:10
来源:财闻
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1、韩国企业KC Tech利用化学机械抛光(CMP)技术推进半导体积层薄膜(BuF)自主化,以应对先进封装微细化工艺挑战。KC Tech正承担韩国产业通商资源部国家课题“大尺寸积层薄膜与超微图案工艺开发”,重点研发下一代BuF用CMP平坦化工艺。 2、BuF是半导体封装中关键绝缘材料,当前市场由日本味之素ABF主导。随着AI与高性能芯片普及,线路宽度已缩至5微米以下,传统数微米级二氧化硅(SiO)填料导致表面粗糙度上升,引发电子迁移阻力增大、信号损耗及曝光精度下降等问题。 3、KC Tech提出“填料微细化+CMP工艺优化”方案,目标将表面粗糙度与碟形坑(Dishing)控制在0.5微米以下。目前已掌握核心CMP技术,正推进材料与工艺的匹配优化,兼顾低介电、低损耗及平坦化结构设计。 4、该技术可应用于高端FC-BGA基板、中介层(Interposer)、玻璃通孔(TGV)、面板级封装(PLP)及高频平台。
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文章提及标的
半导体--
先进封装--
化工--
玻璃--

据THE ELEC 5月7日报道,KC Tech依托化学机械抛光(CMP)技术,推进半导体(881121)积层薄膜(BuF)自主化,以应对先进封装(886009)微细化工(850102)艺挑战。据5月7日行业消息,该公司正承担韩国产业通商资源部国家课题“大尺寸积层薄膜与超微图案工艺开发”,重点研发下一代BuF用CMP平坦化工(850102)艺。

BuF是半导体(881121)封装中关键绝缘材料,当前市场由日本味之素ABF主导。随着AI与高性能芯片普及,线路宽度已缩至5微米以下,传统数微米级二氧化硅(SiO )填料导致表面粗糙度上升,引发电子迁移阻力增大、信号损耗及曝光精度下降等问题。

KC Tech提出“填料微细化+CMP工艺优化”方案,目标将表面粗糙度与碟形坑(Dishing)控制在0.5微米以下。目前已掌握核心CMP技术,正推进材料与工艺的匹配优化,兼顾低介电、低损耗及平坦化结构设计。

该技术可应用于高端FC-BGA基板、中介层(Interposer)、玻璃通孔(TGV)、面板级封装(PLP)及高频平台。KC Tech称,CMP在高集成封装中重要性持续提升,应用范围将随微缩图案扩大而拓展。

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