韩国政府简化 EUV 光刻机导入管理,可缩短 25 天流程时间

2026-06-02 19:34:23
来源:IT之家
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IT之家 6 月 2 日消息,韩国产业通商资源部今日宣布,该国《高压气体安全管理法施行令》的实施细则修订案在国务会议上表决通过,将在下周公布后立即实施。此次细则调整简化了 EUV 光刻机(886054)设备的导入流程。

EUV 机台内置高压气体管道和装置,按韩国现行规范属于“高压气体制造设备”,每次安装时必须进行技术审查和检查。而根据新修订案,EUV 光刻机(886054)被视为一种“特定设备”,部分环节可缩短或省略。

根据原版流程,EUV 光刻机(886054)需要首先经历 15 日的技术审查、5 天的许可、7 天的中间检查,完成后还需要 7 天的竣工核验,总计 34 天;而新流程中将技术审查和竣工核验均压缩至 2 天,还取消了中间检查步骤,用时缩短至 9 天,可节省 25 天时间。

此外,中间检查环节需要由海外认可的检验机构进行压力和泄漏检验,每台设备的费用约为 5 亿韩元(IT之家注:现汇率约合 224.8 万元人民币)。流程调整后企业也能节省这一笔开支。

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