翼菲科技午前涨超5% 公司加速布局半导体高端装备 近日推出Lobster系列晶圆机器人

2026-06-11 11:48:19
来源:智通财经
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翼菲科技(HK6871)(06871)午前涨超5%,截至发稿,涨5.18%,报19.89港元,成交额1918.8万港元。

消息面上,近日,据翼菲科技(HK6871)官微消息,翼菲科技(HK6871)推出Lobster系列晶圆机器人,覆盖4/6/8/12寸晶圆传输场景,可广泛应用于晶圆上下料、工艺设备对接、洁净搬运等关键环节。该系列产品依托公司自研运动控制系统、精密机械结构及多类型末端执行方案,实现0.1mm级高精度定位,兼顾高速、稳定、洁净与柔性适配能力。此外,翼菲科技(HK6871)晶圆机器人已通过德国T V莱茵SEMI S2/S8/F47权威认证,其中RW-A型号达到ISO1级超洁净度。

目前,翼菲科技(HK6871)相关半导体(881121)自动化装备已服务中芯国际(HK0981)等头部晶圆厂,并进入至纯科技(603690)等产业链核心客户体系,同时深度配套多家国产半导体设备(884229)龙头:为芯源微(688037)供应寻边器、为邑文配套ALD倒片机、向比亚迪(002594)交付晶圆机械手、为迈为提供EFEM设备,上述合作客户均已形成稳定复购,产品覆盖晶圆搬运、上下料、洁净检测、光刻配套等多个应用场景。

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