人民财讯10月16日电，半导体设备（884229）是我国半导体（881121）产业中长期面临的“卡脖子”环节。国产半导体设备（884229）突围之路走到了哪一步？今年的湾芯展上，一批国产半导体设备（884229）、材料、工具等新品集中亮相，成为观察行业最新进展的绝佳窗口。
伴随自主可控不断深化，国产设备正持续向高端领域突破。
本次湾芯展上，国产半导体（881121）刻蚀设备龙头中微公司（688012）推介了最新发布的两款高端半导体（881121）微观加工设备。
华海清科（688120）发布中束流离子注入机产品，向着关键设备国产化持续攻坚；微导纳米（688147）推出全新的iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
