【建投中小盘】国产替代系列之二：湿电子化学品主题研究

正文

湿电子化学品是为微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料，是超大规模集成电路、分立器件、液晶显示面板、太阳能电池等制作过程中不可缺少的、关键性精细化工材料之一。

按照组成成分和应用工艺不同可将工艺化学品分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品。其中，通用湿电子化学品是指在集成电路、液晶显示器、太阳能电池、LED制造工艺中被大量使用的液体化学品，主要包括过氧化氢、氢氟酸、硫酸、盐酸等高纯试剂；而功能湿电子主要指具有特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品，主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。

电子化学品下游行业多为集成电路、平板显示、LED等资本密集、技术密集型行业，按照应用领域不同，对产品的纯度、洁净度也有不同要求，以集成电路领域为例，线宽越窄所需电子化学品纯度越高，对应产品附加值也越高。目前世界及我国的湿电子化学品产品通常执行SEMI国际标准，其关键技术指标包括单项金属离子、单项阴离子、颗粒数等，按照纯度由低到高分别为C1、C7、C8、C12；另有部分企业采用国内分类标准，按照纯度划分为EL、UP、UPS、UPSS四个等级。

电子化学品位于电子产业链的上游，技术壁垒较高，其关键是针对不同产品的不同特性而应采取何种提纯技术。目前国内外制备超净高纯试剂的常用提纯技术主要有精馏、蒸馏、升华、气体吸收等方式，生产对于设备、环境洁净度要求极为严苛。国内受技术发展限制，湿电子化学品领域与国外尚有较大差距，高端市场主要集中在美、日、欧等少数大厂商手中，比如在对电子化学品纯度等级要求较高的半导体和平板显示领域，我国内资企业市场占有率仅达到25%左右。

政策推动集成电路产业快速发展

集成电路（IC）产业是国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业。我国集成电路产业已形成四个各有特色的产业聚集区。（1）上海为中心的长三角（2）北京为中心的渤海湾（3）深圳为中心的泛珠三角（4）武汉、西安、成都为代表的中西部。长三角地区一市三省，包括上海市、江苏省、浙江省、安徽省，是中国IC产业技术最扎实、产业链最完整、技术最先进区域，产业规模占全国半壁江山，设计、制造、封测、设备、材料全面发展。为减少湿电子化学品储运过程中的污染，提高响应服务能力，湿电子化学品企业一般布局在集成电路产业发达地区，比如国内主要电子化学品企业如江化微、晶瑞股份、江阴润玛等均分布于长三角地区。

湿电子化学品在半导体制造领域的应用，主要在集成电路和分立器件制作用晶圆的加工方面，主要有清洗和蚀刻两大类用途。湿电子化学品的清洗一是基片在光刻—刻蚀前工序的清洗；二是在硅片图形光刻制作过程中的清洗，所用清洗剂一般称为剥离液。蚀刻作用主要指利用氧化剂将蚀刻材料氧化，再利用适当的酸将氧化后的材料溶解于水中以去除不需要的器件部分。为了让蚀刻的速率延长湿电子化学品的使用时间，常会在蚀刻液中加入活性剂及缓冲溶液来维持蚀刻溶液的稳定。

近几年从国家到地方政府关于发展集成电路的相关政策及信息密集发布，我国正以举国之力发展集成电路，各地方政府也相继出台了发展集成电路的扶持政策。3月28日，财政部联合其他三大部门发布《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》，表示对满足相关条件的集成电路企业可享受减半征收企业所得税。

由于国家对集成电路发展的大力支持，中国集成电路产业保持高速增长。从2014年一季度到2017年一季度，中国在全球半导体销售额市场占比从26.37%上升到32.61%，远远高于2017年一季度美洲、日本、欧洲的19.33%、9.29%、9.61%，中国已经成为全球半导体销售的第一大市场。2017年中国集成电路全年销售额达到5411亿元，同比增长24.8%。其中芯片制造业全年销售达到1448亿人民币，同比增长28.5%，为近年来的最高值。

2018年国内12英寸晶圆厂集中扩建，8英寸晶圆订单满载，6英寸晶圆厂则面临转型。大陆已投产12寸线产能46.6万片/月，在建约63.5万片/月；8寸线月已投产产能约83.8万片/月，在建产能约16.5万片/月。相比较8英寸产线，12英寸适于生产大量、商品类型的元件，如DRAM与快闪存储、影像感测器等，以及尺寸较大、复杂的逻辑与微处理器，其对于生产技术的要求更高，对上游湿电子化学品的纯度要求也更加严苛，附加价值也更高。

根据中国电子材料行业协会的数据，12寸的晶圆消耗湿电子化学品240吨/万片，8英寸的晶圆制造所使用的湿电子化学品为45吨/万片。由此可估算2017年国内8英寸、12寸半导体晶圆生产消耗各类湿电子化学用品总量约17.95万吨；在建晶圆将在2018年集中投产，预计全部投产后将新增湿电子化学品需求量19.18万吨，增幅超过106%。

国内面板产业加速赶超

电子化学品在平板显示器制造过程中属于关键性基础材料之一，主要用于面板制造中基板上颗粒和有机物的清洗、光刻胶的显影和去除、电极的刻蚀等。国内面板用湿电子化学品接受形式多为一种高纯（或复合）溶液的产品形式，如：Array显影液、TIO蚀刻液、Al蚀刻液、Cu蚀刻液、剥离液等，湿电子化学品厂家根据面板厂家需要确定配方组成。

目前全球显示面板产业已经步入成熟期，出货量趋于平稳。国内显示面板制造企业从技术能力、市场份额均已跟上国际领先水平，如京东方、华星光电等一系列厂商正通过不断布局加速占据国际市场份额。2016年大陆显示面板厂商出货量首次超越台湾，成为第二大面板生产地，并逐渐逼近韩国。

国内面板产业正处于由大变强阶段，目前已成为全球拥有高世代液晶面板生产线最多的主产区，并且仍有多条高世代液晶面板线以及6代柔性AMOLED线在建，将于2018~2021年密集投产。由于高世代线单片尺寸更大，因此其对湿电子化学品单线需求量也更大。

按照面板生产线4.5代生产线基板尺寸为0.67m2/片、5代1.43 m2/片、5.5代1.95 m2/片、6代2.78 m2/片、8.5代5.5 m2/片、10.5代9.9 m2/片，11代9.96 m2/片，可测算截止2017年底国内面板产线总月产能约805万平米，2018年及以后投产面板总月产能564万平米。根据中国电子材料行业协会的数据，按照每万平方米用湿电子化学品29吨计算，可推算2017、2018年及以后投产面板所需要的湿电子化学品总量分别为28万吨/年、19.6万吨/年，按现有产能规划未来两年需求较2017年底将增加70%。

光伏新政影响短期需求

光伏发电是绿色清洁的能源，符合能源转型发展方向，在能源革命中具有重要作用。近年来，我国光伏产业发展迅速，光伏发电新增装机连续5年全球第一，累计装机规模连续3年位居全球第一。2017年全球新增光伏装机102GW，同比增长33.7％。其中，中国2017年装机53GW，占比过半，作为第一大市场持续领跑全球。在“2018全球光伏企业20强（综合类）”排行榜中中国企业有16家。

湿电子化学品在太阳能光伏领域，主要用于太阳能电池片的制绒、清洗及刻蚀，其中制绒加工中消耗的湿电子化学品量最大，约占整个硅太阳能电池加工中湿电子化学品需求总量的60～70%。在使用的各类湿电子化学品中，用于太阳电池多晶硅片制绒加工以及太阳电池片加工清洗的氢氟酸需求量最大，占整个各类湿电子化学品总消耗量的38.67%。其次是专用于太阳电池多晶硅片制绒加工的硝酸，需求量占31.00%。

江化微（603078.SH）

江化微专业生产适用于半导体、晶体硅太阳能、FPD平板显示等工艺制造过程中的专用湿电子化学品。是国内为数不多的具备为平板显示、半导体及LED、光伏太阳能等多领域供应湿电子化学品的企业之一。在平板显示领域拥有中电熊猫液晶、京东方、深天马、华星光电等知名企业客户，在半导体及LED 领域拥有中芯国际、方正微电子、士兰微等知名企业客户。

目前公司公司IPO 募投项目、镇江投资项目和四川投资项目建成投产之后，公司将成为具备最高等级产品生产能力的具有国际竞争力的湿电子化学品生产企业。

晶瑞股份（300655.SZ）

公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业，主要生产四大类微电子化学品，应用到五大下游行业：主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料和锂电池粘结剂四大类微电子化学品，广泛应用于半导体、光伏太阳能电池、LED平板显示和锂电池等五大新兴行业，具体应用到下游电子信息产品的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。

公司超净高纯试剂核心产品超纯氢氟酸、盐酸、硝酸和氨水纯度等级已达到SEMI G3、G4等级，拳头产品双氧水技术突破国际垄断，达到G5等级，目前已在华虹宏力完成测试，并即将进入中芯国际等多个客户进行测试；公司生产光刻胶能提供紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线、i线正胶等高端产品，在国内率先实现IC制造商大量使用核心光刻胶即i线光刻胶的量产。

巨化股份（600160.SH）

凯圣股份是巨化股份旗下全资子公司，创建于2003年6月。目前拥有萤石－氢氟酸、电子化学品、新能源材料三大产业板块，主要产品有无水氟化氢、工业氢氟酸、电子级氢氟酸等。是国内电子级氢氟酸规模最大、品种最全、规格最高的企业。

经过多年的积累发展，凯圣氟化公司现已建成年产电子级氢氟酸6000吨、电子级氟化铵5000吨、电子级盐酸3000吨、电子级硫酸10000吨、电子级硝酸6000吨、缓冲氧化蚀刻液5000吨等生产装置。公司高纯电子气体项目实施，目前高纯电子气体项目（一期），年产1000吨高纯氯化氢、500吨高纯氯气和1000吨医药级氯化氢已经建成投产。

公司自有品牌应用于中芯国际、华虹宏力、武汉新芯等半导体行业领先企业，部分产品销往欧美、日本、韩国及中国台湾等地，产品高端市场的收入逐步提升。

多氟多（002407.SZ）

多氟多化工股份有限公司成立于1999年12月，全球生产规模最大、技术创新领先的精细氟化工龙头企业，致力于高性能无机氟化物、电子化学品、锂离子电池材料、新能源汽车的研发、生产和销售的高新技术企业，是我国无机氟化工行业第一家上市公司。

以电子氢氟酸为例，2013年底第一批国产电子级氢氟酸在多氟多问世，使多氟多成为全球仅有的能够生产电子级氢氟酸的公司之一。自2014年投产至今，多氟多已经建成年产10000吨电子级氢氟酸生产线，其产品指标优于业界通用UPSS水平，打破我国高品质电子级氢氟酸依赖进口的现状。2017年多氟多电子级氢氟酸销售额突破亿元。多氟多电子级氢氟酸新工艺的开发，电子级氢氟酸完整产业链的建立对于电子氢氟酸稳定替代进口产品，推动集成电路原材料的国产化有重要影响。

深圳新星（603978.SH）

公司主要从事铝晶粒细化剂的研发、生产和销售，具备从上游萤石资源到下游产品的全产业链布局，同时向高纯氟化氢等领域扩充。2017 年度公司创新开发了一种高纯无硅氟化氢的生产方法，以铝晶粒细化剂副产物高纯氟铝酸钾为原料生产高纯无硅氟化氢。由于生产原料中不含硅砷等传统方法中难以去除元素，省去多道提纯，大大降低工艺复杂性。2017 年12 月深圳新星签订了《投资兴办氟新材料产业园项目合同书》，计划在深圳龙南经济技术开发区富康工业园建设年产8 万吨的高纯无硅氟化氢项目。