盛剑环境：科技创新 助力半导体产业绿色发展

　　讯（王珞）3月20日，由盛剑环境主办的《洞察“芯”科技，共铸“芯”未来》暨中国半导体附属装备及核心零部件和电子化学品材料行业交流会在上海浦东嘉里大酒店成功举行。盛剑环境董事长张伟明发表了题为《深耕半导体绿色科技产业，创新合作助力产品延伸》的主题演讲。

　　盛剑环境董事长张伟明详细介绍了盛剑在真空设备、温控设备、Local Scrubber和电子化学品材料等产品取得的重要进展：盛剑半导体自主研发生产多级罗茨SJE、多级罗茨SJR和复合爪式SJC真空设备，抽速范围覆盖200m3/h至6000m3/h，具备“高效率、低能耗、高质量、低成本”四大核心优势，实现了国产真空设备的新突破，具有较强的竞争力。在半导体温控设备方面，SJ-F系列成功攻克三通道技术难关，在“控温性能、运行性能”等方面具有一定的竞争力，为中国半导体产业链安全提供有力保障；在废气处理装置上，全新推出燃烧式Local Scrubber BW系列，实现等离子、电加热、燃烧式、吸附式全技术路线自主研制生产，为半导体产业提供更多自主设备选择；在AIoT平台方面，将持续融合多种半导体附属装备及核心零部件，达到“支持MES集成、可视化远程监控、维护预警、运行数据收集分析”目的。

　　本次交流会以“洞察‘芯’科技，共铸‘芯’未来”为主题，来自北方华创、格科微、华虹半导体、新粤能、复旦微电子、ICEM、京东方、华星光电、惠科光电、维信诺、彩虹光电等140多位行业专家，共同探讨行业未来发展趋势，助力中国半导体产业健康发展。

　　会议伊始，上海市经信委副主任阮力，上海化学工业区管委会党组书记、主任马静，上海嘉定工业区党工委副书记、集团公司董事长张敏发表致辞。随后交流，上海集成电路行业协会副会长、复旦微电子副总经理沈磊教授作为特邀主持人主持交流会，格科微有限公司首席运营官李文强，北方华创微电子副总裁牟昌华，上海硅产业集团执行副总裁、上海新昇及新傲科技董事长李炜，集成电路材料创新联合体秘书长、上海集成电路材料研究院副总裁冯黎，君桐资本合伙人张莉，分别从不同视角分享见解，共同探讨中国半导体产业链在快速发展的进程中，如何应对因全球贸易摩擦等带来的诸多挑战，确保中国半导体产业链的安全稳定。

　　同期，SEMICON China展于3月20-22日在上海新国际博览中心盛大开展，盛剑环境在N1馆1431号展位展出半导体附属装备及核心零部件和电子化学品材料的最新技术成果。

　　盛剑环境锚定“为科技企业提供绿色服务，为绿色企业提供科技产品”的战略定位，致力于成为领先的高科技产业绿色科技服务商。持续秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略，在绿色厂务系统解决方案的基础上，构建半导体附属装备及核心零部件平台，在电子化学品材料领域实施差异化竞争，着力打造端到端的新材料+循环再生一体化解决方案。