天溯计量:公司研制了《半导体集成电路制造台阶高度测试仪校准规范》等9项校准规范

来源: 2026-01-30 19:38:45

  讯1月30日,天溯计量在互动平台回答投资者提问时表示,在新一代电子信息产业,公司研制了《半导体集成电路制造台阶高度测试仪校准规范》等9项校准规范,弥补了部分战略性新兴产业细分领域标准与规范缺失的空白。其中,公司研发编制的《半导体集成电路制造晶圆表面颗粒测试仪校准规范TSZJ78》,获得了CNAS认可,解决了行业该类设备纳米级精度计量校准的难题。

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