给晶圆搬运装上“稳准快”的机械手

关键词：

硅晶圆

利空
利空
中性
利好
利好

　　撰稿：赵丽娜

　　制图：冯晓燕

　　编辑：冯晓燕

　　校对：陈苑

　　审核：张巧琴

　　终审：冯婵璟

　　审稿：厅成果处、华芯(嘉兴)智能装备有限公司、评估中心、宣教中心

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