恒运昌：技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务
来源：
2026-05-26 21:38:57
2026-05-26 21:38:57 
5月26日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。
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