路维光电: 路维光电关于2026年度“提质增效重回报”行动方案的半年度评估报告

　　                 深圳市路维光电股份有限公司

　　         关于 2026 年度“提质增效重回报”行动方案的

　　                       半年度评估报告

　　   为深入贯彻中央经济工作会议和中央金融工作会议精神，践行以“投资者为

　　中心”的发展理念，深圳市路维光电股份有限公司(以下简称“公司”或“路维

　　光电”)特制定《2025 年度“提质增效重回报”行动方案评估报告暨 2026 年度“提

　　质增效重回报”行动方案》。公司根据行动方案内容，积极开展、落实各项工作，

　　现将 2026 年上半年的主要工作成果报告如下：

　　   一、聚焦经营主业，提升核心竞争力

　　   路维光电作为本土掩膜版行业的先行者，坚持以“以屏带芯”为战略锚点，

　　在显示领域已实现全世代覆盖(G2.5-G11)、全显示技术覆盖(LCD、AMOLED、LTPS、

　　 LTPO、Mini-LED、Micro-LED、硅基 OLED、FMM 用掩膜版等)，为业内知名面板生

　　产商批量供应高世代、高规格掩膜版；在半导体领域则全面布局先进封装及成熟

　　制程用掩膜版市场，广泛服务于晶圆制造企业、IC 设计公司及封装测试厂商，并

　　提供全流程的专业服务保障；通过投资路芯半导体将半导体掩膜版制程节点布局

　　至 14nm。深耕行业近 30 年，坚持自主研发创新及不断扩产，目前公司已成为国

　　内高世代、高精度平板显示掩膜版和先进封装掩膜版龙头供应商，半导体制程布

　　局国内领先。

　　   (一)聚焦经营主业

　　   报告期内，公司实现营业收入 66,807.20 万元，较上年同期增加 22.80%，主

　　要得益于公司产能有序提升及下游行业需求旺盛。同时，随着规模效应释放、产

　　品结构持续优化以及运营管理不断强化，公司盈利能力得以进一步加强。报告期

　　内，公司实现归属于上市公司股东的净利润 14,455.09 万元，较上年同期增加

　　较 上 年 同 期 增 加 43.33% 。 具 体 内 容 详 见 公 司 同 日 于 上 海 证 券 交 易 所 网 站

　　(www.sse.com.cn)披露的《2026 年半年度报告》。

　　   (二)高效推动项目建设

　　  报告期内，公司可转换公司债券募投项目“半导体及高精度平板显示掩膜版

　　扩产项目”产线处于产能投产爬坡阶段，该项目产品涵盖 250nm-130nm 半导体掩

　　膜版和 G8.6 及以下各类高精度平板显示掩膜版产品。

　　  公司投资建设的路芯半导体掩膜版项目进展顺利，制程节点布局居于国内厂

　　商前列。该项目一期产品覆盖至 40nm 制程节点半导体掩膜版，2025 年已逐步实

　　现产品量产，实现 90nm 及以上成套掩膜版客户端验证通过并供货，40nm 和 28nm

　　单片掩膜版客户端验证通过并供货，并持续推进 40nm 成套掩膜版客户端送样工

　　作；二期规划向 28nm 至 14nm 节点延伸，计划于 2026 年陆续投建。未来伴随项目

　　的顺利投产，其产品将逐步覆盖 MCU(微控制芯片)，SiPh(硅光子)、CIS(互补

　　金属氧化物半导体图像传感器)，BCD(双极-互补-双扩散-金属氧化物半场效应

　　管)，DDIC(显示驱动芯片)，MS/RF(混合射频信号)，Embd. NVM(嵌入式非易失

　　存储器)

　　   ，NOR/NAND Flash(非易失闪存)，DRAM(动态随机存取存储器)等半导

　　体制造相关行业，进一步完善产业链供给、推动国产替代进程。

　　  为进一步扩充公司高世代高精度掩膜版的产能，公司于厦门市投资建设“厦

　　门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目”。该项目总投资额为人民币 20

　　亿元，计划建设 11 条高端光掩膜版产线，重点研发生产 G8.6 及以下各类高精度

　　光掩膜版。项目分阶段实施，其中一期计划总投资额 13 亿元，将建设 5 条 G8.6

　　及以下 AMOLED 高精度掩膜版产线，配置 5 台(套)核心主设备及 22 台(套)精

　　密辅助设备。目前，项目一期设备已经开始陆续进场调试，预计于 2026 年下半年

　　陆续投产。根据中国证券监督管理委员会于 2026 年 5 月 14 日签发的《关于同意

　　深圳市路维光电股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》

　　                           (证监许可〔2026〕

　　额为人民币 991,702,205.66 元，公司拟使用上述募集资金 77,200 万元用于建设

　　“厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目(一期)”。该项目投产后，公

　　司产能将显著提升，能够更充分地满足下游客户需求，助力公司持续提升在客户

　　供应链中的份额，加速推进国产化替代进程，进一步推动平板显示掩膜版国产化

　　率提升。

　　  (三)坚持市场开拓与产品矩阵完善

　　  掩膜版直接定义了下游产品的良率，这一属性决定了客户对供应商的甄选极

　　为审慎，从技术验证到批量导入，往往需经历漫长而严苛的认证周期，一旦达成

　　合作便形成高度粘性。路维光电历经市场淬炼，已跻身掩膜版行业知名供应商行

　　列，凭借领先的技术实力、稳定的品质交付与高效的服务响应，赢得了下游头部

　　客户的充分信赖，与众多标杆企业缔结了长期稳固的合作纽带。凭借优秀的产品

　　性能与优质的服务，公司不断加强客户粘性、提升份额。2026 年上半年，公司来

　　自七十余家客户的销售收入同比增长超 30%，其中五十余家合作客户收入增幅超

　　过 100%，对天马微电子、莱宝高科、宁波中芯、三安光电、晶方科技、源杰科技、

　　蓝思科技等重点客户的供货规模实现较快增长。

　　  产品方面，公司产品技术国内领先，多次打破海外垄断。(1)在 G11 高精度

　　超大尺寸掩膜版领域，公司于 2019 年成功建设国内首条 G11 高世代掩膜版产线并

　　投产，成为国内首家且唯一一家、世界第四家掌握 G11 掩膜版生产制造技术的企

　　业；

　　 (2)在半色调掩膜版(HTM)领域，公司的技术演进路径清晰而扎实。从 2018

　　年实现 G2.5 等中小尺寸半色调掩膜版的量产突破起步，次年便将能力边界迅速扩

　　展至 G8.5 及 G11 TFT-LCD 产品。至 2024 年，公司进一步跨越技术门槛，成功量

　　产 AMOLED 用 HTM 产品，至此形成了覆盖全世代线的半色调产品矩阵，彻底结束了

　　该细分市场长期由海外厂商供应的局面；

　　                 (3)在相移掩膜版(PSM)领域，公司沿

　　着从基础研发到多场景量产的路径稳步推进。2021 年完成衰减型相移掩膜版(ATT PSM)的核心工艺开发并通过内部验证后，公司加速推动技术成果向实际应用转化：

　　品完成客户认证并顺利投放市场。TFT-Array 用 PSM 掩膜版已贯通关键工艺节点，

　　已于 2025 年实现客户验证通过，并在 2026 年上半年实现多个客户、不同功能层

　　产品的导入；与此同时，面向更高精度，如 AMOLED 用 PSM 产品的研发也在积极推

　　进中，将依据下游客户的技术路线迭代和市场需求择机推向量产。(4)在上游核

　　心工艺环节，在 2016 年到 2018 年间，公司相继自主突破了中小尺寸及大尺寸掩

　　膜版的光阻涂布技术，一举填补了国内在该领域的长期空白，在此基础上不断实

　　现技术迭代，目前可实现 G2.5~G11 全世代掩膜版光阻涂布。公司已具备向产业链

　　上游进行技术外延的扎实功底，为更深层次的供应链自主化奠定了工艺基础。

　　  二、以技术攻坚铸壁垒，发展新质生产力

　　  公司始终将技术创新视为驱动发展的核心引擎。围绕掩膜版制造的关键工艺

　　与下游技术迭代方向，公司在工艺技术端，持续深挖光刻、刻蚀等核心制程的迭

　　代空间；在精度端，向更窄线宽、更优均匀性发起攻关；在产品端，加速高附加

　　值品类的量产导入与全世代覆盖；在储备端，前瞻布局面向下一代显示与半导体

　　技术的掩膜版方案。四维协同发力，使公司在技术演进的道路上持续收获阶段性

　　研发成果。

　　  报告期内，公司完成了多项技术研发项目。

　　                    “化学蚀刻对高精度图形形貌的影

　　响研究与蚀刻工艺开发”项目通过对高精度图形蚀刻后形貌的研究，制定出更精

　　确的蚀刻工艺参数，进而达到更精确的 CD(关键尺寸)控制能力，提升 MASK 精

　　度等级，更好地满足下游客户需求，显著提升公司在行业中的竞争力。“外框

　　 barcode 数据自动化生成及处理效率提升”项目通过开发外框 barcode 图形坐标

　　计算和生成系统，实现批量自动化设计，提高外框 barcode 图档文件处理效率，

　　从而有效缩短产品制作周期。“封装行业图形处理效率提升”项目针对封装行业

　　 ODB++的数据文件，测试研究图形处理软件，优化数据处理流程，提高封装行业图

　　形处理时效，从而有效缩短产品制作周期。

　　  报告期内，公司新增 3 项核心技术，新获授权专利 10 项。截至报告期末，公

　　司累计申请专利 194 件，软件著作权 35 件；有效授权专利 124 件，软件著作权

　　代光掩膜版为公司斩获“广东省制造业单项冠军企业”称号。

　　  三、持续完善公司治理，发挥“关键少数”积极作用

　　  公司严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公

　　司治理准则》和《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规和监管要求，

　　建立了由股东会、董事会、独立董事和高级管理层组成的治理结构，辅以战略委

　　员会、审计委员会、薪酬与考核委员会、提名委员会等董事会专门委员会。公司

　　组织机构职责分工明确，相互配合，健全清晰，制衡机制有效运作。

　　《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上海证券交易所科创板股

　　票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运

　　作》等相关规定，结合公司的实际情况，公司修订了《董事和高级管理人员薪酬

　　管理制度》。公司持续关注最新监管政策及法律法规，系统性组织相关人员参加上

　　海证券交易所举办的《上市公司财务规范运作重点关注事项专题培训》，同时通过

　　多渠道及时向控股股东、实际控制人及董事、高级管理人员传导最新监管要求，

　　夯实合规管理基础。

　　  四、提升投资者回报，共享高质量发展成果

　　会审议通过了《关于 2025 年度利润分配预案的议案》，同意以实施权益分派股权

　　登记日登记的总股本扣除股份回购专户中股份数量后的股份总数为基数分配利

　　润，向全体股东每 10 股派发现金红利 4.00 元(含税)，合计派发现金红利

　　公司股东净利润的比例为 30.56%。

　　  五、提升信息披露质量，加强投资者交流

　　  公司严格遵循《上海证券交易所科创板股票上市规则》

　　                         《上市公司信息披露管

　　理办法》

　　   《公司章程》等有关规定，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披

　　露义务，充分保障投资者的知情权。

　　  公司高度重视信息披露及投资者关系管理工作。2026 年上半年，公司积极通

　　过参与线上线下调研、路演、券商策略会，通过 E 互动平台、投资者电话、电子

　　邮箱等多种形式，积极与投资者互动交流，回复投资者关切的各种问题。具体包

　　括：

　　调研的方式，在信息披露允许的范围内，与八十余家国内外机构投资者就公司经

　　营情况、财务指标等进行深入浅出地交流。

　　科创板集成电路核心技术攻关之 2025 年度半导体材料行业集体业绩说明会，公司

　　董事长兼总裁杜武兵先生、董事、执行总裁、董事会秘书肖青女士、董事兼财务

　　总监刘鹏先生、独立董事梁新清先生参加了会议，就公司目前技术布局、2025 年

　　公司经营成果等情况，与投资者开展交流与互动，充分回答投资者关心的问题。

　　关心的问题，促进投资者对公司的全面了解，切实保护投资者的合法权益，全方

　　位传递公司价值。

　　  六、其他事宜

　　  公司将认真执行 2026 年度“提质增效重回报”行动方案，持续评估本方案的

　　执行情况并及时履行信息披露义务，着力提升经营发展质量和核心竞争力，通过

　　稳健的经营表现、规范的公司治理、真诚的沟通交流，积极回馈广大投资者，切

　　实履行好上市公司的责任和义务。

　　 本报告是基于目前公司的实际情况而作出的判断，未来可能会受到政策调整、

　　国内外市场环境等因素影响，具有一定的不确定性，有关公司规划、发展战略等

　　属于非既成事实的前瞻性陈述，不构成公司对投资者的实质承诺，敬请广大投资

　　者注意相关风险。

　　                   深圳市路维光电股份有限公司董事会