国产干泵龙头再落子，中科仪4.23亿元加码集成电路干式真空泵

　　10月20日晚间，国产干式真空泵龙头中科仪(BJ920186，股价62.21元，市值139.25亿元)发布对外投资公告，拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目总投资约4.23亿元，将在沈阳、南通及上海三地同步布局，建设期为3年。

　　公司同日还披露了调整募投项目内部投资结构明细的公告，在募投项目投资总规模不变的前提下优化硬件设备投入结构。本次投资不构成重大资产重组

　　10月20日，中科仪发布《对外投资的公告》。公告显示，伴随国内集成电路产业快速发展，半导体装备核心零部件国产化需求持续攀升，集成电路干式真空泵市场空间稳步扩容。公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目拟投资约4.23亿元。

　　项目拟在沈阳、南通及上海三地实施。其中，沈阳和南通主要围绕集成电路干式真空泵开展产业化扩产建设，通过新建加工中心厂房、新增及升级生产、装配、检测测试等相关设备和设施，进一步提升干式真空泵规模化生产能力；上海分公司主要围绕干式真空泵相关零部件加工制造环节，通过新增机械加工、检测、清洗及自动化等设备，提升核心零部件加工制造能力。

　　公告指出，该项目在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上实施，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，提升整体盈利水平。项目建设期为3年，投资进度为第一年33649万元、第二年7670.81万元、第三年993.67万元。

　　干式真空泵是半导体多个制程中的通用真空设备，应用场景覆盖单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程。以12英寸晶圆生产线为例，每3.5万片/月产能约需配置2000台真空泵。SEMI数据显示，2025年全球半导体设备市场规模为1347亿美元，同比增长15%；预计2026年增长至1659亿美元，2027年突破2000亿美元。根据SEMI及中商产业研究院数据，2025年中国半导体设备行业市场规模达3755亿元，同比增长10%；预计2026年增至4131亿元。

　　审议程序方面，该议案已于10月16日经独立董事专门会议第一次会议、2026年10月19日经董事会审计委员会第十三次会议及第五届董事会第二十六次会议审议通过，尚需提交股东会审议。本次对外投资不构成重大资产重组，不构成关联交易。公告同时提示了技术迭代及产品升级风险、市场需求波动风险、专业人才引进及流失风险。上半年营收净利双增

　　根据中科仪2026年半年报，报告期内公司实现营业收入6.23亿元，同比增长8.52%；归属于上市公司股东的净利润为18.39亿元，同比增长1229.96%。净利润大幅增长主要因非经常性损益，其中公允价值变动收益约19.56亿元、投资收益约1.29亿元。扣除非经常性损益后的净利润为6106.35万元，同比下降3.41%。非经常性损益净额为17.78亿元，其中持有金融资产公允价值变动损益20.82亿元。报告期内公司毛利率为28.08%。

　　公司全称为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，主要产品为干式真空泵、真空科学仪器设备并提供相关技术服务，系国家级“专精特新”企业、省(市)级“单项冠军”、高新技术企业。于2026年4月29日在北京证券交易所上市。控股股东为国科科仪控股有限公司，实际控制人为中国科学院控股有限公司。

　　中科仪10月20日收涨8.57%，报62.21元/股。

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