昊华宇航电子级氯化氢装置开车

来源: 2026-11-13 10:50:04
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  中化新网讯近日,中国中化旗下昊华宇航电子级氯化氢装置一次性开车成功,产出纯度达99.9999%以上的合格产品,标志着该项目正式进入试生产阶段。

  电子级氯化氢是电子信息产业用关键材料制造的重要基础材料,主要用于大规模关键材料单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀及外延片刻蚀等核心工艺,对产品纯度和杂质含量要求极高。经检测,本次产出的产品总杂质含量不超过0.2ppm,完全满足下游关键材料及外延片制造对超高纯气体的严苛需求。

  图为电子级氯化氢装置。(企业供图)

  项目自启动以来,面对极高的技术标准与紧张的建设周期,团队聚焦超高纯氯化氢的精馏纯化等核心技术环节,开展多轮技术优化和方案修改,最终敲定工艺方案。在施工与试车阶段,项目团队科学统筹、协同作战,严格把控各道工序与质量节点,确保了工程安全、质量与进度全程受控,最终实现了装置的“一次投料、一次成功”。

  据悉,该项目是昊华宇航向电子化学品领域迈出的第一步,也是落实中国中化“十五五”战略部署、聚焦核心主业、推进延链补链强链、培育战略性新兴产业的积极探索。项目建成后,昊华宇航将在传统氯碱之外形成高端电子化学品生产能力,为产品结构调整和产业升级奠定坚实基础。

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