股权激励计划：至纯科技发布2019年第二期股票期权与限制性股票激励计划草案。拟授予的激励对象权益总计302万股，占总股本1.17%，首次授予242万股，预留授予60万股。其中股票期权激励总计200万股，限制性股票激励总计102万股。激励对象总人数为78人，主要包括公司董事、高级管理人员、核心技术骨干。激励计划授予的股票期权的行权价格为18.51元/股，限制性股票的授予价格为9.26元/股。公司层面的业绩考核指标是2019-2021年净利润分别达到0.93亿元、1.1亿元、1.3亿元。

　　技术骨干占比最高，人才激励作用突出。核心技术人员获授股票期权占总数的比例为55%，占总股本的0.43%；获授限制性股票占总数的比例为80.39%，占总股本的0.32%。公司对核心技术骨干的股权激励偏向有利于增强技术人才吸引力，提高公司整体研发水平，尤其是加快清洗机等半导体设备产业化进程，促进公司形成长期竞争优势。

　　双重考核，压力动力并举，业绩考核目标积极。此次激励计划设置了公司与个人双重层面的业务考核方案。公司层面规定行权或解除限售的条件是2019-2021年公司净利润达到0.93、1.1、1.3亿元。个人层面规定根据公司内部评价制度的考核结果分为“优良”、“中等”、“合格”、“不合格”，其行权或解除限售的比例分别为100%，80%，60%，0%。我们认为采用公司层面和个人层面双重考核，有望实现良好利益绑定，在压力和动力并举的情况下，各方面活力有望得以充分释放，业绩改善空间也有望进一步打开。

　　清洗机产业化迅速，已获批量订单。2018年公司完成了启东制造中心6万平米的建设，湿法设备制造工厂正式投入使用。2019年5月8日，公司发布预案，拟公开发行总额约3.6亿元的可转换公司债券，其中1.2亿元用于半导体湿法设备制造项目，2.4亿元用于晶圆再生基地项目。公司已形成UltronB200和UltronB300的槽式湿法清洗设备和UltronS200和UltronS300的单片式湿法清洗设备产品系列，订单总金额1.1亿元，预计2019年国内企业对于清洗设备的总需求在400台以上，市场空间巨大。

　　盈利预测与评级。预计2019-2021年EPS分别为0.53元、0.93元、1.19元。考虑国内集成电路产业高景气将带来清洗机市场放量，叠加股权计划对人才培养与创收能力的正向激励作用，给予公司2019年50倍估值，对应目标价26.5元，维持“买入”评级。

　　风险提示：清洗设备研发投入和技术突破不及预期的风险；下游市场对高纯工艺系统和半导体清洗设备需求量降低的风险；并购企业业绩不及承诺的风险。