1、广义检测贯穿整个半导体制程，包括第三方实验检测、缺陷检测（DefectInspection）与量测（Metrology）、测试（Test）等，本篇是我们此前系列报告《检测设备系列之一：半导体缺陷检测——谁有机会成为中国的科磊？-20200224》的深化报告，重点聚焦在缺陷检测与量测部分，在本文中统称为检测设备。KLA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者，本文深度分析半导体检测设备市场并借鉴KLA-Tencor的发展历程，梳理国内相关企业进展并给出投资建议。

　　2、市场规模&分类：1）芯片制程中检测设备种类多、市场空间大，根据我们测算，预计2020、2021年全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元。同时我们判断在检测设备中，缺陷检测与量测部分占比分别约为2/3、1/3，则相应2020年全球半导体缺陷检测、量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元，2021年分别约为49、24.5亿美元；中国大陆2020年两者分别约为10.9、5.5亿美元；2021年分别约为11.7、5.9亿美元。2）制程检测设备有不同的分类方法可以分为：缺陷检测、物性量测；光学检测、电子束检测等；有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等。

　　3、市场格局：1）根据SEMI数据，KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一，堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业中排名第五；其次是应用材料和日立，二者市占率均超过10%，前三市占率合计达到75%，其他重要企业有Onto（Nanometrics和Rudolph合并而来）、Nova等。2）国内半导体检测设备领域，相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在部分细分领域已取得较大进展，但整体来看国产化率仍非常低（我们判断在5%以下），可以留给国内企业的市场空间和挑战并存。

　　投资建议：从目前国内主要企业中标情况来看，量测部分（如膜厚测量等设备）已有部分企业能够中标长存等，但缺陷检测部分中标非常少，重点推荐赛腾股份（Optima）：Optima主要产品为缺陷检测设备，客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业，国内是其未来重点拓展领域，目前国内既有客户包括新晟、中环、奕斯伟等，未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户。

　　风险提示：疫情超预期;公司相关产品订单不及预期;中美贸易摩擦超预期等。