业绩简评

　　公司2020年业绩预告，2020年全年预计实现归母净利润2-2.3亿元，同比增长81%-109%，Q4单季度归母净利润预计为1.2-1.5亿元，大幅增长226-309%，得益于公司半导体领域及光电子领域的快速增长，全年业绩超预期。扣非净利润为1.2-1.5亿元，同比增长33%-66%。

　　经营分析

　　受疫情影响2020Q4业绩井喷，湿法设备供不应求。根据公司12月投资者关系活动记录及官微，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备（主要供应8寸）供不应求，2020年公司湿法设备全年出货30台，2020年公司交付给华虹集团ICRD的12寸单片设备正式搬入，向合肥长鑫交付了一台12寸的特殊工艺的单片设备，截止2020年底单片设备订单超过10台，单片订单净额超过3亿元。后续单片设备有望在21年逐步放量，公司保持5年到2022年完成200台装机目标不变。公司目前湿法工艺设备所能生产的晶圆技术节点已经覆盖0.35um到28nm，具有14nm的技术储备。

　　晶圆再生项目进展顺利，计划2021Q1流片。项目首期产能计划为7万片/月，年产84万片。合肥项目的产能已基本已被下游客户预定，下游可以覆盖到合肥当地的长鑫、晶合、以及周边的无锡、南京、武汉的晶圆厂。目前因为国内没有晶圆再生相应业务，都是送到日本台湾进行晶圆再生，相对于境外竞争对手，预计可为当地客户节省30%的物流成本。

　　公司重点布局半导体领域，包括高纯工艺系统、湿法设备以及晶圆再生服务，服务于同一批客户。就主业高纯工艺系统板块来看，半导体占比60%，下游头部客户包含三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长存、长鑫、士兰微等，后续公司在湿法设备的突破上有望借助已有的客户资源，实现快速成长。2020年上半年疫情对高纯工艺系统有部分影响，但下半年行业整体恢复增长，订单呈现快速增长状态。

　　盈利调整与投资建议

　　预计公司2020-22年实现营收14/19/24亿元，同比增长40%/39%/25%，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备供不应求，单片式湿法设备打入多个下游大客户，上调2020-2022年归母净利润分别为2.1/3.0/4.3亿元，同比增长88%/47%/42%，分别上调22%/7%/2%，对应P/E为67x/46x/32x，给予2021年60倍PE，目标价58元/股，维持“买入”评级。

　　风险提示

　　新产品拓展情况不及预期、下游扩产及产能爬坡不及预期、行业竞争加剧。