事件：公司发布2021年年报及2022年一季报。

　　半导体湿法设备快速放量，公司收入端持续高速增长

　　2021年公司实现营收20.84亿元，同比增长49.18%，基本符合我们预期，主要系半导体行业景气度较高，公司半导体板块业务尤其清洗设备订单充足，出货量大幅提升，分产品看：①半导体设备实现收入7.01亿元，同比增长222.06%，表现极为出色，主要系公司湿法设备持续在已有用户端得到重复订单，并持续开拓新用户，全年订单达到11.20亿元，同比增长111.32%，2021年湿法设备交付量大幅提升。②高纯工艺集成系统实现营业收入10.78亿元，同比增长24.86%，延续较快增长态势；③光传感及光器件实现营业收入3.03亿元，同比下降3.72%，表现较为平稳。2022Q1公司实现营业收入5.48亿元，同比增长136.98%，在上海疫情不利影响下，仍高速增长，好于我们预期，2022年1-4月公司新增订单18.02亿元，其中半导体湿法设备新增订单6.31亿元，充足订单支撑下，2022年收入有望延续快速增长态势。

　　湿法设备毛利率进入爬升阶段，非经常损益影响公司净利率水平

　　2021年公司实现归母净利润2.82亿元，同比增长8.12%，略低于收入端增速，2021年公司销售净利率为13.64%，同比-5.02pct，盈利水平有所下降。①毛利端，2021年公司整体毛利率为36.19%，同比-0.60pct，高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及光器件毛利率分别为34.71%、32.48%、50.43%，分别同比+2.95pct、+2.63pct、-4.92pct，整体毛利率下降主要系光传感及光器件收入占比下降所致，湿法清洗设备毛利率正处在爬升阶段。②费用端，2021年公司期间费用率为23.82%，同比-2.23pct，其中销售、管理（含研发）、财务费用率分别同比-0.35pct、-0.19pct、-1.69pct，主要系规模效应。

　　③2021年公司非经常性损益1.20亿元，同比-20.24%，主要系公允价值变动较少，2021年公司扣非归母净利润同比增长46.57%，与收入增速接近，真实盈利水平稳定。

　　2022Q1年公司实现归母净利润0.22亿元，同比下降70.78%，主要系公司间接持有韦尔股份本期公允价值变动影响0.23亿元，剔除此部分影响，2022Q1扣非归母净利润为0.39亿元，同比增长1131%，真实盈利水平大幅改善。

　　湿法设备覆盖至14mn制程工艺，国产替代打开成长空间

　　公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备及单片机设备覆盖目前国内产线成熟工艺及先进工艺涉及的全部湿法工艺。此外，公司提供的湿法设备还可以应用于先进工艺，主要为存储（DRAM，3DFlash）、先进逻辑产品，还覆盖一些特殊工艺类，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。公司在先进制程的28纳米节点获得全部工艺的设备订单，在14纳米以下制程也拿到订单，国产替代驱动下，中长期有望实现快速发展。

　　盈利预测与投资评级：考虑到疫情等影响，我们预计2022-2024年公司归母净利润分别为4.02（前值4.83）亿元、5.74（前值7.16）亿元和7.64亿元，当前股价对应动态PE分别为25、17和13倍，维持“买入“评级。

　　风险提示：新产品研发不及预期，订单客户突破不及预期等。