事件：

　　1.公司发布2021年年度报告，2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%，归属于母公司所有者的净利润2.82亿元，同比增长8.12%；扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%。

　　2.公司发布22Q1季度报告，22Q1公司主营收入5.48亿元，同比上升136.98%；归母净利润2189.44万元，同比下降70.78%；扣非净利润3871.19万元，同比上升1130.87%。

　　半导体设备收入大增，22Q1扣非后净利率表现亮眼：公司2021全年营收同比大幅增长49.18%，其中高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及器件营收分别为10.78亿元、7.01亿元、3.03亿元,同比分别+24.86%、+222.06%、-3.72%，毛利率分别为34.71%、32.48%、50.43%，同比分别+2.95pct、+2.63pct、-4.92pct，半导体设备收入增长最快。从22Q1的情况来看，一季度公司实现营收5.48亿元,同比上涨136.98%,扣非后归母净利润0.38亿元,同比上涨1130.87%，22Q1公司扣非后归母净利率7.07%，同比提高5.71pct，Q1扣非后净利率大幅提高。

　　湿法设备订单快速增长，进入加速发展期：公司湿法设备在半导体国产替代的推动下，步入快速成长期，从2018年开始拿到1亿级别的订单，2021年订单已经超过11亿。2022年1-4月公司新增订单18.02亿元，其中半导体湿法设备新增订单6.31亿元。从公司设备的技术能力来看，公司不仅在客户的先进制程28纳米节点获得全部工艺的设备订单，还在14纳米以下制程也拿到了4台湿法设备订单，技术实力国内领先。2021年，公司主营半导体清洗设备的子公司至微科技成功引入大基金二期、中芯聚源等战略投资者，助力业务加速发展。

　　投资建议：我们预计公司2022年~2024年收入分别为30.54亿元、41.01亿元、51.38亿元，归母净利润分别为4.03亿元、5.67亿元、7.29亿元，EPS分别为1.26元、1.78元、2.29元，维持“买入-A”投资评级。

　　风险提示：全球半导体景气度不及预期；晶圆厂资本开支不及预期；国内设备公司技术研发不及预期；国产化进度不及预期风险。