泛半导体板块业务驱动2021年、2022Q1收入高增长。2021年，公司实现营业收入20.84亿元，主要系公司泛半导体板块业务增长的收入贡献，包括半导体制程设备业务、工艺支持设备业务及高纯工艺系统服务业务等。

　　其中，高纯工艺集成系统营业收入10.78亿元（+24.86%yoy；收入占比51.72%）；半导体设备营业收入7.01亿元（+222.06%yoy；收入占比33.64%）；光传感及光器件营业收入3.03亿元（-3.72%yoy；收入占比14.54%）。2022Q1公司实现营收5.48亿元，实现归母净利0.22亿元，同比下降70.78%，主要系2021Q1收到政府补助6864.60万元，本报告期该项收入仅为64.56万元，扣非后归母净利0.39亿元，同比增长1130.87%。

　　半导体设备开始发力，行业保持高景气度。1）半导体设备业务板块开始发力，持续在已有用户端得到重复订单，并持续开拓新用户。公司于2015年开始布局湿法设备研发，于2018年开始拿到1亿元级别的订单，2019年订单超过2亿元，2020年超过5亿元。2021年，公司拿到13位用户的重复订单，期间又开拓了10位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业，全年湿法设备的订单达到了11.20亿元，同比增长111.32%。2021年公司的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了97台。同时，12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8亿元。公司湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单，有效替代了之前的两家日本厂商；公司还在氮化镓和碳化硅产线上拿到了整条线的湿法设备订单；公司在先进制程的28纳米节点获得全部工艺的设备订单；

　　在14纳米以下制程也拿到了4台湿法设备订单。2）根据ICInsights数据，2022年全球半导体行业资本开支有望创历史新高至1904亿美元，同比增长24%。

　　根据Gartner统计数据，2020年全球半导体清洗设备市场规模为25.39亿美元，2021年随着全球半导体行业复苏，全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，2024年预计全球半导体清洗设备行业将达到31.93亿美元。依托行业高景气叠加国产化替代需求，2022年，公司的新增订单目标为超过40亿元，其中湿法设备的新增订单目标为超过20亿元，新增订单中预估单片设备会占到60%。

　　高纯工艺系统保持持续增长，支持设备占比提升。1）高纯工艺系统业务板块保持持续增长，其中气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司工艺水平已能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量陡增。2021年主要客户均为行业一线集成电路制造企业，如中芯，华虹，长鑫，士兰微等，年度订单数再创新高。随着支持设备产能的扩产计划顺利完成，公司已在该业务板块具备行业竞争优势，未来将获得更多下游客户的订单机会，保持稳定增长态势。2）高纯工艺气体及化学品支持设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，是和工艺良率息息相关的必要设备，相当于一个工厂的心血管系统。该类设备随着进口替代的展开，在高纯工艺系统中占比越来越高，并且衍生出的对于配套设计、安装、测试调试等服务需求亦不断增长，该类服务持续存在于半导体制造企业的全生命周期。公司已经成为国内该类设备（包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等）的领先供应商，每年交付的各类设备超过5000台套。

　　研发强度逐年提升，2021年高达14.50%。2017年以来，公司研发强度（研发投入/营业收入）逐年提升，2019-2021年分别为7.44%、10.76%、14.50%。2021年，公司研发投入为3.02亿元（其中费用化1.44亿元，资本化1.58亿元），同比增长101.06%。公司是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，单片式、槽式湿法设备得到客户认可，公司12寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场的竞争，2021年，公司首批单片湿法设备交付并多工艺顺利通过验证。与此同时，发布可转换公司债券预案，拟发行可转债总额不超过人民币11亿元，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、半导体设备模组及部件制造项目等。目前方案正在积极推进中，为公司业务的快速发展、经营战略的实现提供资金支持。通过积极的研发投入与业务布局，确保公司长期竞争力与供应环节的灵活可控。

　　投资建议：

　　我们预计公司2022-2024年的净利润分别为3.99/5.08/6.07亿元，EPS分别为1.25/1.59/1.91元/股，当前股价对应P/E分别为25/20/16倍。考虑公司所处的泛半导体行业处于高景气周期，叠加国内制程设备处于国产替代的黄金窗口期，公司设备研发不断取得技术突破，订单高增长，我们将其“增持”评级上调为“买入”。

　　风险提示：

　　行业竞争加剧风险；应收账款计提风险；下游需求放缓风险。