投资要点：

　　公司2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.2%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长8.1%；每股收益为0.89元。

　　2022年一季度公司实现营业总收入5.48亿元，同比增长137%；归母净利润2189万元，同比下降70.8%。

　　半导体设备高速增长，泛半导体业务布局初见成效

　　2021年公司实现营业收入20.84亿元，同比增长49.2%，实现归母净利润2.88亿，同比增长8.1%，扣非归母净利润1.62亿，同比增长46.57%。

　　2021年公司高纯工艺系统集成营业收入10.78亿元，同比增长24.86%，占主营业务收入比例约50%；半导体清洗设备营业收入7.01亿元，同比增长222.06%，占主营业收入比例为33.64%；光电子营业收入3.03亿，同比下滑3.72%。

　　2021年公司核心业务是泛半导体业务，其中高纯工艺系统集成是公司起家的核心业务，近年维持稳健快速增长。半导体设备是公司近年大力投入拓展的核心业务，2021年半导体设备业务营业收入7.01亿，同比增长222.06%，增长强劲，在手订单饱满，未来仍有望成为公司核心增长点。公司通过可转债和定增切入半导体清洗的下游晶圆再生业务，今年预计将开始发力贡献收入，未来有望成为第二增长点。公司通过多年布局，泛半导体业务涉及半导体产业多个环节，已经初见成效。

　　公司泛半导体业务毛利率小幅上升

　　2021年度公司整体销售毛利率36.19%，同比下滑0.6pct，主要原因是产品结构变化造成的，公司半导体设备业务增长快，毛利率相对较低，仍处于业务开拓和量产阶段，其次是高毛利率的光电子业务增速不佳。

　　2021年公司整体净利率13.64%，同比下降近5个pct。

　　2021年公司加权ROE为8.1%，比去年下滑近8pct。公司加权ROE下滑较多主要原因是因为公司净资产快速增长，因为去年有较大的公允价值变动受益导致2021年归母净利润增速不高，拖累了加权ROE水平。

　　公司高纯工艺系统集成毛利率34.71%，同比上市2.95pct,半导体设备毛利率32.48%，同比提升2.63pct，泛半导体业务毛利率均小幅上升2个pct以上。光电子业务毛利率50.43%，下滑4.92pct。

　　盈利预测与估值

　　鉴于公司扎根泛半导体业务多年，在高纯工艺系统集成优势明显，半导体清洗设备多次获一线新老客户复购和认可，订单饱满业绩释放在即，另外，公司募投项目晶圆再生业务有望发力，成为第三增长点。我们预测公司2022年-2024年营业收入分别为30.34亿、39.97亿、49.27亿，归母净利润分别为3.91亿、5.25亿、6.57亿，对应的PE分别为29.05X、21.68X、17.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。

　　风险提示：1：宏观经济不及预期；2：下游行业需求不及预期；3：原材料价格上涨，毛利率下滑；4：晶圆再生业务拓展不及预期。