以高纯工艺系统与半导体湿法设备为核心，布局泛半导体设备领域。1）至纯科技是国内领先的半导体工艺装备和材料供应商。2021年公司实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%；实现扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%。2）合同负债与存货持续增长。2021年公司合同负债与存货分别为2.40亿元和11.95亿元，创历史新高，新增订单总额同比增长64.80%。3）2021年公司研发支出3.02亿元，同比增长101.33%，研发强度为14.50%，较2020年提高3.74个百分点。公司不断加强研发投入，增强公司长期竞争力。

　　深耕半导体湿法设备，全面进入收获季。1）晶圆厂积极扩产，半导体设备处于景气周期。2021年全球半导体设备市场规模为1026亿美元，同比增长44%，预计2022年增长11%，约1140亿美元。下游晶圆厂的资本开支直接决定了半导体设备的销售额，我们按半导体资本开支中设备投资占70%~80%比例估算，2022年全球半导体行业设备端投资规模约在1332.8~1523.2亿美元之间。2）清洗设备是半导体制程核心设备，集成电路制造设备主要资本开支中，清洗设备占比为6%。3）全球市场高度集中。根据Gartner数据，2020年全球半导体清洗设备市场规模为25.39亿美元，预计到2024年，全球半导体清洗设备市场规模将增至31.93亿美元。2020年全球半导体清洗设备主要被日本DNS（迪恩士）、TEL、Lam和SEMES（韩国细美事）等企业主导，合计占比约97.70%，产业集中度较高。4）公司湿法设备量产，进入高速成长期。2021年公司湿法设备营业收入为7.01亿元，同比增长221.56%，毛利率为32.48%较2020年提高2.63个百分点；新增订单11.20亿元，同比增长111.32%，2022年公司的新增湿法设备的新增订单目标为超过20亿元，新增订单中预估单片设备会占到60%。

　　泛半导体产业发展驱动高纯工艺业务增长。1）半导体行业是高纯工艺业务的主要下游收入来源。公司高纯工艺业务近五年分下游行业营收来看，泛半导体领域占据较大份额，增速较快，2021年达到8.71亿元，同比增长28.85%，近三年复合增长率为35.99%；其次为医药行业，2021年营收2.07亿元，同比增长10.70%，近三年复合增长率为12.01%。我们预计未来带动公司高纯业务板块增长的主要驱动力来自泛半导体领域，来自医药领域的业务保持平稳增长趋势。2）半导体领域高纯工艺系统全球市场规模2022年有望突破千亿元。我们测算，2022年应用于半导体领域的高纯工艺系统市场规模约为640~1024亿元。3）支持设备业务国产替代顺利，有望成为行业“领头羊”。2021年公司气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，订单量保持增长，已经成为国内该类设备的领先者，每年交付的各类设备超过5000台套。

　　投资建议：

　　我们预计公司2022-2024年的净利润分别为3.99/5.08/6.07亿元，EPS分别为1.25/1.59/1.91元/股，当前股价对应P/E分别为25/20/16倍。考虑公司所处的泛半导体行业处于高景气周期，叠加国内制程设备处于国产替代的黄金窗口期，公司设备研发不断取得技术突破，订单高增长，我们将维持“买入”评级。

　　风险提示：

　　行业发展风险；对部分关键零部件供应商依赖的风险；市场竞争风险。