结论与建议：

　　得益于半导体设备需求增长以及公司竞争力提升，1H22公司克服疫情的不利影响，营收增长接近五成，扣非后净利润增长565%-630%，业绩弹性进一步显现。同时，1H22公司新增订单约30.6亿元，同比增长约62%，进一步确保业绩高速成长。

　　长期来看，公司作为国内半导体设备龙头企业，在高端刻蚀设备技术储备国内领先，将长期受益于国产替代的推进。从估值来看，公司2023年PS预计约11倍，公司作为国内领先刻蚀设备厂商估值享有一定溢价，维持买进的评级。

　　扣非后净利润巨幅成长，业绩创新高：公司发布业绩会预告，预计1H21公司实现营收19.7亿元，YOY增长47.1%，实现净利润4.2亿元-4.8亿元，YOY增长6%-21%，扣非后净利润4.1亿元-4.5亿元，YOY增长565%-630%。整体来看，得益于半导体设备需求的增长以及公司竞争力的提升，1H22公司扣非后净利润大幅增长，并创历史新高。

　　公司1H22业绩相较上年同期更为扎实，1H22年公司非经常性收益较减少3.3亿元，一方面计入非经的政府补贴减少2.1亿元；另一方面公允价值变动较上年损失2亿元（天岳先进、中芯国际股价下降）。分季度来看，2Q22公司实现营收10.2亿元，YOY增长38.8%。实现净利润3亿元-3.6亿元，YOY增长17%-40%，QOQ增长159%-210%，扣非后净利润2.2亿元-2.6亿元，YOY增长343%-422%，QOQ增长20%-41%。

　　盈利预测：公司作为国内半导体设备龙头企业，在高端刻蚀设备技术储备国内领先，将长期受益于国产替代的推进。2021年公司新增订单41.3亿元，YOY增长90.5%以上，1H22公司新增订单继续增长62%至30.6亿元，为未来业绩成长奠定坚实基础。另外，公司MiniLED设备销售的推进降进一步推升业绩成长，我们上调全年盈利预测5%，预计公司2022-23年营收分别45亿元和63亿元，YOY增长46%和39%，净利润11.2亿元和15.4亿元，YOY分别增长10%和38%，EPS分别为1.81元和2.5元，目前股价对应2022、23年PE分别为61倍和44倍，2023年PS预计约11倍，公司作为国内领先半导体设备厂商估值享有一定溢价，维持买进的评级。

　　风险提示：疫情影响超预期，半导体设备需求波动超出预期；