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掩膜版行业深度报告:光刻蓝本亟待突破,国产替代大有可为
内容摘要
  掩膜版:电子制造之底片,晶圆光刻之蓝本。掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版,按照制造材料可以分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(菲林、凸版、干版),按照下游应用领域可以主要分为平板显示掩膜版、半导体掩膜版、触控掩膜版、电路板掩膜版。掩模版对于光刻工艺的重要性不弱于光刻机、光刻胶。在集成电路领域,光掩模的功能类似于传统相机的“底片”,在光刻机、光刻胶的配合下,将光掩模上已设计好的图案,通过曝光和显影等工序转移到衬底的光刻胶上,进行图像复制,从而实现批量生产。国内掩膜版厂商的上游材料以及设备严重依赖日韩厂商。生产制造方面,掩膜版的制造工艺复杂,主要的生产工艺包括:光刻、显影、蚀刻、脱膜以及清洗。
  全球竞争格局:海外寡头垄断,国产厂商持续发力。1)细分市场规模:掩膜版的主要应用领域为半导体与平板显示。半导体领域,2022年全球光掩模版市场规模大约为58.11亿美元;平板显示领域,根据Omdia数据,全球平板显示掩膜版2022年市场规模达1026亿日元。2)竞争格局:据SEMI的数据统计,2019年全球芯片掩膜版市场中,65%的市场份额由晶圆厂自行配套的掩膜版工厂占据,剩余35%的份额则被独立第三方掩膜工厂瓜分。3)国产化进程:半导体领域,国产厂商暂时集中在芯片封测用掩膜版以及100nm节点以上的晶圆制造用掩膜版,技术水平与国际领先的企业有较大差距;平板显示领域,G11代线的掩膜版产品已有国产厂商突破垄断,精度方面离国际最高水平还稍有差距。
  海外龙头解析:掩膜版龙头发展路径。掩膜版龙头企业的崛起都有规律可循,海外龙头背后的发展共性都是企业成长的必经之路。通过复盘三大海外龙头的成长轨迹,我们总结了龙头公司掩膜版业务的发展思路供国内公司参考:1)与晶圆厂共同研发新产品;2)建立全球化的生产基地,重视中国市场机遇;3)持续并购整合建立全球销售网络,加快研发速度。
  国产替代机遇:随着我国半导体产业占全球比重的逐步提升,我国半导体掩膜版市场规模也逐步扩大。目前国内厂商已量产250nm工艺节点的6英寸和8英寸半导体芯片用掩膜版,正在推进180nm半导体芯片用掩膜版的客户测试认证,同步开展130nm-65nm半导体芯片用掩膜版的工艺研发和28nm半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划,逐步缩小与海外龙头企业的技术差距,加速国产替代进度。我们认为国内掩膜版行业的景气度有望持续旺盛,国产厂商有望迎来业绩的高速增长。
  投资建议:我们看好国内掩膜版需求的持续提升和国产替代的迫切需要。建议关注:1)清溢光电:国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。2)路维光电:国内唯一一家具有G.2.5-G11全世代掩模版生产能力的国内掩模版厂商,公司在G11超高世代掩膜版、高世代高精度半色调掩膜版和光阻涂布等产品和技术方面,打破了国外厂商的长期垄断。
  风险提示:行业竞争加剧;下游行业周期性波动;产品验证不及预期。
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