2023年业绩高增，新产品进展顺利，客户订单量持续增长
　　中科飞测2023全年实现营收8.91亿元（+74.95%yoy），归母净利润1.40亿元（+1072.38%yoy），主因产品竞争力增强叠加下游客户国产化需求迫切。2023年毛利率为52.62%，同比+3.95pct，1Q24收入2.36亿元（+45.60%yoy），归母净利润0.34亿元（+9.16%yoy），毛利率为54.34%，同比-0.92pct。公司明、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、光学关键尺寸检测设备研发进展顺利，同时公司推出三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。我们预计公司24/25/26年收入为13.0/18.7/26.5亿元，可比公司24年PS为9.0倍，考虑到公司的龙头地位优势及成长性，给予一定估值溢价，维持“买入”，目标价81元（24年20xPS）。
　　2023回顾：收入显著增长，毛利率持续改善，新设备进展顺利
　　2023年公司检测设备收入6.54亿元，占比73.46%，同比增长70.15%，毛利率57.17%；量测设备收入2.22亿元，占比24.87%，同比增长88.56%，毛利率38.79%。公司2023年毛利率为52.62%，同比上升3.95pct，规模效应逐步凸显。2023年研发投入达2.28亿元，同比增长10.93%。当前公司明场纳米图形晶圆缺陷检测设备小批量出货到多家国内头部客户产线进行工艺开发与应用验证；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中，光学关键尺寸量测设备完成设备样机研发，在国内多家主流客户进行样片验证测试，在部分产线进行工艺开发和应用验证。
　　1Q24&24展望：营收预计持续高增，软硬件能力结合铸就护城河
　　中科飞测1Q24收入2.36亿元（+45.60%yoy），归母净利润0.34亿元（+9.16%yoy），毛利率为54.34%，同比-0.92pct。1Q24公司研发投入0.73亿元，同比增长36.16%。根据公司4月授予的股权激励，2024/25/26/27年收入目标值分别不低于11.5/17.2/24.1/31.3亿元，同比+29%/49.8%/40.4%/29.8%，对应费用为0.86/0.74/0.4/0.2亿元。公司推出良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，与九大系列设备组合构成了全方位的良率管理解决方案，软硬件结合增强客户黏性，公司覆盖逻辑、存储、2.5/3D封装等领域，看好24年下游积极扩产下公司成长性。
　　估值：维持“买入”评级及目标价81元
　　我们维持公司24/25年收入预测为13.0/18.7亿元，考虑到股份支付费用，调整公司2024-2025年利润预测至1.6/2.7亿元（前值：2.1/3.0亿元），维持“买入”，可比公司24年PS为9.0倍，考虑到公司的龙头地位及成长性，给予一定溢价，基于24年20xPS调整目标价至81元（前值：89.03元）。
　　风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。