本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体工艺辅助设备龙头，Chiller&L/S唯一国内均可量产供应商，产品充分适配国内最先进的14nm逻辑芯片和192层3DNAND存储芯片产线，供货长江存储、中芯国际、长鑫科技、华虹等头部客户。受益于国内晶圆厂扩产&国产替代，公司业绩持续快速增长。1）收入端：2023年公司营业收入达到7.42亿元，2019-2023年CAGR为33.9%，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%，在手订单充足，将保障短期收入端快速增长。2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2023年归母净利润1.19亿元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高达111%，利润端表现较收入端更加出色。2020-2024Q1-3年公司销售净利率分别为1.82%、11.73%、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持续提升。
　　先进制程扩产趋势下，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节。大基金三期落地彰显国家解决半导体“卡脖子”决心，先进逻辑+存储将是主要投资方向，叠加AI驱动下先进制程扩产的产业趋势已经确立。节点升级将大幅提升资本开支，不仅是核心设备总用量提升，先进制程设备单台价值量同样提升明显，Chiller&L/S价值量提升尤为明显。以Chiller为例，先进逻辑7nm节点每万片需求量将提升3-4倍；先进NAND提升更为明显，高深宽比蚀刻需引入低温蚀刻技术来满足工艺需求，每万片新增超低温Chiller需求约100台，且单价大幅提升，可见Chiller价值量提升显著高于其他工艺制程设备，此外，先进制程扩产同样带来L/S价值量提升。根据我们测算，2024-2025年中国大陆Chiller&L/S合计市场规模达到59.8/64.1亿元，高于Chiller&L/S各1%的价值量占比测算。
　　公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间。1）不同于其他前道工艺设备，Chiller&L/S可完全实现进口替代，公司先进制程收入敞口接近100%，考虑到公司Chiller在大陆头部先进制程客户接近实现独供，短期最先受益先进制程晶圆厂扩产，以2023分别为15亿元、33元亿计算，公司Chiller&L/S的市占率为29%、11%，中长期看公司Chiller&L/S整体市占率仍有较大提升空间。2）后服务市场收入已成为海外半导体设备龙头重要收入来源，23财年AMAT/LAM后市场收入占比高达22%/38%可以得到印证。公司后市场服务主要包括零配件和维保服务，IPO募投着力布局L/S核心零部件火炬头的自制产能。2023年公司后市场收入仅为6547万元，收入占比仅9%，远低于海外成熟公司后市场收入占比，2019-2023年公司累计实现设备收入21.64亿元，按照后市场收入占设备价值量10%，公司自有设备配套的后市场空间约2.2亿元，我们判断随着公司Chiller&L/S持续大规模出货，后服务业务有望加速增长，成为公司重要的增长点。
　　投资建议：我们预计公司2024-2026年营业收入为10.23、15.22和19.97亿元，同比+38%、49%和31%；2024-2026年归母净利润为1.61、2.80和4.16亿元，同比+35%、74%和49%；2024-2026年EPS为0.96、1.67和2.48元，2024/12/4股价53.5元对应PE为56、32、22倍，考虑到公司为本土半导体工艺辅助设备龙头，后市场业务成长逻辑清晰，首次覆盖，给予“增持”评级。
　　风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、海外制裁超预期加剧、行业竞争加剧等