上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）记者了解到，近期，弥费科技（上海）股份有限公司（简称“弥费科技”）在两家晶圆厂的自动物料搬运系统（AMHS）获得验收通过，公司成为首家在晶圆厂领域打破海外长期垄断的本土AMHS供应商。

弥费科技介绍，在晶圆厂整厂AMHS系统级验收上，弥费科技已累计完成多家工厂国产化验证平台，并打通了验证平台和量产代工厂之间的衔接，实现了该验证平台上所有本土晶圆生产设备和量产线之间的无缝切换，提升供应链安全，也帮助客户实现了整厂晶圆制造效率的显著提升。

记者了解到，不同应用领域对AMHS系统的性能要求不同。相较于面板制造、硅片厂、封装厂等应用场景，晶圆制造厂对制造工序、搬运量、调度频率、天车设备性能、软件调度和整体AMHS系统可靠性、稳定性等方面的要求都相对更高，晶圆厂AMHS系统市场长期被海外公司垄断。

弥费科技成立于2014年11月，一直深耕于晶圆制造厂自动化搬运系统领域。自2018年开始，公司针对晶圆厂的自动化需求，逐步开发完成了31类硬件产品、2类软件产品，涵盖软件产品、传输产品、存储产品、净化产品和零部件等，具备产品管线齐全、技术平台持续升级迭代、产品混合兼容部署能力等优势。

弥费科技AMHS系统示意图

需要提及的是，公司还充分发挥半导体晶圆厂本土AMHS企业标杆作用，引领行业标准制定。由公司牵头制定的AMHS行业首个团体标准——《集成电路晶圆厂用天车传送系统应用要求》即将正式发布。在上海市集成电路行业协会组织的标准评审会上，该标准获得行业专家高度认可。