12月24日晚，华海清科（688120）(688120)公告，公司及上海分公司拟合计使用自有资金不超过10.05亿元，收购参股子公司芯嵛半导体（881121）(上海)有限公司(下称“芯嵛公司”)剩余82%的股权。交易完成后，芯嵛公司将成为华海清科（688120）全资子公司。

华海清科（688120）是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体（881121）装备供应商，开发出了CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。今年前三季度公司实现营业收入24.52亿元，同比增长33.22%；归母净利润7.21亿元，同比增长27.8%。

公告显示，芯嵛公司成立于2018年，主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备。2023年、2024年1月至5月，芯嵛公司归母净利润分别为-2442万元、-1516万元。

华海清科（688120）表示，芯嵛公司目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损，本次收购完成后公司也将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发。

据了解，离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据SEMI数据，全球及国内超过九成的设备仍由美国应用材料（AMAT）公司、美国亚舍立公司供应，市场集中度较高。根据公开信息，国内开展离子注入设备研发和生产的公司包括芯嵛公司、北京烁科中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体（881121）股份有限公司和青岛四方思锐智能技术有限公司等。

近年来，中国集成电路产业规模迅速增长。根据SEMI数据，2025年全球12英寸晶圆厂设备资本支出强度预计提升，有望达到1165亿美元，同比增长20%；且2026年有望达到1305亿美元。中国市场2022年、2023年半导体设备（884229）市场规模分别达到282.7亿美元、356.97亿美元，增速明显高于全球。

华海清科（688120）认为，离子注入机是集成电路制造（884227）前道工序中的关键设备之一，离子注入设备销售额占半导体（881121）工艺设备整体销售规模的比重约为3%至5%，市场前景广阔。芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商，公司可以通过本次收购较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局。

值得注意的是，公告显示，本次交易确定芯嵛公司100%股权的整体价格为12.25亿元，交易价格与评估截止日芯嵛公司所有者权益账面值相比的增值率为1541.43%。

公司在公告中提醒，尽管与标的公司处于同一产业链，在市场、产品、技术和成本等方面具有业务协同的基础，但由于管理方式的差异，仍不排除本次交易完成后双方难以实现高效整合目标的风险。