百傲化学:子公司拟投入2.19亿元参与大世代干法刻蚀装备研发

来源: 同花顺7x24快讯

  百傲化学603360)公告,控股子公司苏州芯慧联半导体科技有限公司下属公司芯慧联(佛山)半导体科技有限公司拟与国内知名高校、研究机构等共同签订合作研发项目合同书,共同参与开发大世代干法刻蚀装备。佛山芯慧联作为牵头单位,拟投入自有资金2.19亿元。

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