科创半导体设备ETF(589020)翻红，此前一度跌超3%

科创半导体设备ETF(589020)翻红，此前一度跌超3%，当前涨幅为0.3%，溢价率为1.66%，成交额3.77亿元，近1月份额增加113.66%，增加5.14亿份。

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