多只科创半导体设备ETF涨超5%

科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710)、科创半导体设备ETF（588710）鹏华(589020)等多只科创半导体设备ETF（588710）与半导体设备ETF广发(560780)、半导体设备ETF易方达(159558)等多只半导体设备ETF（159327）涨超5%。科创半导体材料（884091）设备指数自8月18日起已跌17.26%。