半导体设备板块涨超5%，科创半导体设备ETF(588710)涨幅为5.14%

半导体设备（884229）板块涨超5%，科创半导体设备ETF(588710)涨幅为5.14%，连涨3天，最新价创10日新高，成交额9.14亿元，近1月份额减少4.02亿份。